[发明专利]用于提高激光扫描显微镜的分辨率的设备

摘要

本发明涉及用于激光扫描显微镜(LSM)的分辨率提高的设备。在LSM的情况下，通过具有简化的调节和更低的干扰敏感性的图像反转干涉法来实现分辨率提高的任务根据本发明通过如下方式解决：为使得在至少一个轴线上镜像的光瞳图像的波前和未改变的光瞳图像的波前干涉，将来自激光扫描显微镜的光瞳光束耦入缩短的共路干涉仪(2)，其中，将来自光瞳光束的光瞳(1)的面积沿着横向于光轴(12)的轴线(11)拆分为两个互补的子区域P和Q，以产生两个子光束，两个子光束沿着共路干涉仪(2)作为两个沿着光轴(12)对置地定向的干涉仪分支镜像对称地分开地通过全反射供给到至少一个光束偏转装置，并且使得干涉仪分支的光，即来自一个干涉仪分支的透射光与来自另一干涉仪分部的反射光以及反过来，在部分可穿透的分束器层(34)上干涉，从而可以产生来自光瞳(1)的两个不同的子区域P和Q的波前的相长干涉(C)和相消干涉(D)。

主权项

1.用于借助图像反转干涉法来改进激光扫描显微镜的分辨率或信噪比的方法，其中，在一个干涉仪分支中进行光瞳光束的至少一次镜像，以便使在至少一个轴线上镜像的光瞳图像的波前和另一干涉仪分支的未改变的光瞳图像的波前干涉，所述方法包括以下步骤：‑将来自所述激光扫描显微镜的光瞳光束耦入共路干涉仪(2)中，‑从所述光瞳光束中将光瞳(1)的面积沿着限定的横向于准直的光束的光轴(12)的轴线(11)拆分为所述光瞳(1)的两个互补的子区域P和Q，以产生两个子光束，将所述两个子光束沿着所述共路干涉仪(2)作为两个沿着所述光轴(12)对置地定向的干涉仪分支镜像对称地引导，并且通过全反射分开地供给到至少一个光束偏转装置，‑在至少一次光束偏转之后使所述干涉仪分支的光在部分可穿透的分束器层(34)上干涉，其中，借助所述分束器层(34)，所述一个干涉仪分支的透射光与所述另一干涉仪分支的反射光以及所述一个干涉仪分支的反射光与所述另一干涉仪分支的透射光分别达成所述光瞳(1)的第一子区域P的波前与跟所述第一子区域P互补的第二子区域Q的波前的组合以及所述光瞳(1)的第二子区域Q的波前与跟所述第二子区域Q互补的第一子区域P的波前的组合，从而能产生源自所述光瞳(1)的两个不同的子区域P和Q的波前的相长干涉(C)和相消干涉(D)。