[发明专利]在多射束柱中减少的库仑相互作用有效
| 申请号： | 201880009523.9 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN110313048B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | A·D·布罗迪 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 可通过减少多射束检验系统的照明路径中的库仑效应来改进多电子束系统的性能。具有多个孔的射束限制孔径可位于电子束源与多透镜阵列之间，例如无场区域中。所述射束限制孔径经配置以减少所述电子束源与所述多透镜阵列之间的库仑相互作用。具有所述射束限制孔径的电子束系统可用于扫描电子显微镜中。 | ||
| 搜索关键词： | 多射束柱中 减少 库仑 相互作用 | ||
【主权项】：
1.一种电子束系统，其包括：电子束源；多透镜阵列；及射束限制孔径，其界定多个孔，其中所述射束限制孔径安置在所述电子束源与所述多透镜阵列之间，其中所述射束限制孔径经配置以减少所述电子束源与所述多透镜阵列之间的库仑相互作用。
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