[发明专利]合成蓝宝石中的抗反射和耐刮擦处理的方法在审

专利信息
申请号: 201880009858.0 申请日: 2018-02-02
公开(公告)号: CN110392745A 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: D·比萨尔多;F·盖尔纳莱克 申请(专利权)人: 法国爱奥尼亚公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/48;C30B29/20;C30B33/00;C23C14/58
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 孟凡宏;谢燕军
地址: 法国埃鲁*** 国省代码: 法国;FR
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摘要: 合成蓝宝石材料的抗反射和耐刮擦处理的方法,其中:‑选择离子的加速电压为5kV‑1000kV,以产生厚度等于100nm的倍数的注入层;‑注入表面中微波诱导的退火温度为800℃‑2000℃,退火时间为1‑1000秒。因此有利地获得合成蓝宝石材料,其中处理面上的反射减少至少一半,同时保持硬度大于或等于8。
搜索关键词: 合成蓝宝石 退火 抗反射 耐刮擦 加速电压 微波诱导 注入表面 注入层 反射 离子
【主权项】:
1.在可见光范围内对合成蓝宝石材料进行抗反射耐刮擦处理的方法,其特征在于它由两个连续的步骤组成:第一步,通过气体离子束进行轰击,其中:‑每单位表面积注入的气体离子的剂量选自1016个离子/cm2‑1018个离子/cm2的范围,以便获得气体离子的原子浓度,使得注入层的折射率n约等于(n1*n2)1/2,其中n1是空气的折射率,n2是合成蓝宝石的折射率;‑加速电压选自5kV‑1000kV的范围,以便使注入厚度e等于p*λ/4*n,其中e是对应于其中注入的气体离子的原子浓度大于或等于1%的注入区的注入厚度,其中p是整数,λ是入射波长,n是注入层的折射率,第二步,其中通过微波诱导的加热使合成蓝宝石的注入表面退火,其中:‑选择800℃‑2000℃的退火温度;‑选择1‑1000秒的退火时间。
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