[发明专利]用于至少一个对象的光学检测的检测器在审
| 申请号： | 201880010677.X | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN110291418A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | C·朗根施密德;C·邦西诺;A·汉德瑞克;I·布鲁德;R·森德 | 申请（专利权）人： | 特里纳米克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/42 | 分类号： | G01S17/42;H01L51/42;H01L31/0256;G01S5/16;G01S7/481 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出了用于至少一个对象(112)的光学检测的检测器(110)。检测器(110)包括：至少一个光学传感器，其中光学传感器具有至少一个传感器区域(130)，其中光学传感器被设计为以取决于入射调制光束(132)对传感器区域(130)的照射的方式产生至少一个传感器信号，其中传感器信号取决于光束(132)的调制频率，其中传感器区域(130)包括至少一个电容器件(134)，电容器件(134)包括至少两个电极(166,174)，其中至少一个绝缘层(178)和至少一个光敏层(180)嵌入在电极(166,174)之间，其中至少一个电极(166,174)是对光束(132)至少部分光学透明的；以及至少一个评估设备(150)，其中评估设备(150)被设计为通过评估传感器信号来产生关于对象(112)的位置的至少一项信息。特别地，光学传感器可以是纵向光学传感器(114)，其被设计为产生至少一个纵向传感器信号，其中在给定相同的总照射功率的情况下，纵向传感器信号还取决于光束(132)在传感器区域(130)中的光束横截面，其中评估设备(150)被设计成通过评估纵向传感器信号产生关于对象(112)的纵向位置的至少一项信息。替代地或另外地，光学传感器可以是横向光学传感器(160)，其中电极(166,174)中的一个是具有低电导率的电极层(222)，其用于确定入射光束(132)照射传感器区域(130)的位置，其中横向光学传感器(160)被设计成取决于入射光束(132)照射传感器区域(130)的位置产生至少一个横向传感器信号，其中评估设备(150)被设计成通过评估横向传感器信号产生关于对象(112)的横向位置的至少一项信息。因此，提供了一种用于精确确定空间中至少一个对象的位置的简单且仍然有效的检测器，其表现出所提取的ac光电流随着的入射光斑尺寸的变化的强非线性行为并且另一方面允许容易制备。 | ||
| 搜索关键词： | 光学传感器 检测器 传感器区域 评估设备 电极 传感器信号 纵向传感器 横向传感器 照射传感器 电容器件 光学检测 横向光学 入射光束 信号产生 传感器 入射 评估 绝缘层 非线性行为 光束横截面 低电导率 调制光束 调制频率 光学透明 横向位置 照射功率 纵向位置 光斑 电极层 光电流 光敏层 制备 嵌入 照射 替代 表现 | ||
【主权项】：
1.一种用于光学检测至少一个对象(112)的检测器(110)，包括：至少一个光学传感器，其中，所述光学传感器具有至少一个传感器区域(130)，其中，所述光学传感器被设计为以取决于入射调制的光束(132)对所述传感器区域(130)的照射的方式产生至少一个传感器信号，其中，所述传感器信号取决于所述光束(132)的调制频率，其中，所述传感器区域(130)包括至少一个电容器件(134)，所述电容器件(134)包括至少两个电极(166,174)，其中，至少一个绝缘层(178)和至少一个光敏层(180)嵌入在所述电极(166,174)之间，其中，所述电极(166,174)中的至少一个是对所述光束(132)至少部分光学透明的；以及至少一个评估设备(150)，其中，所述评估设备(150)被设计为通过评估所述传感器信号来产生关于所述对象(112)的位置的至少一项信息。
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