[发明专利]摄像面板及其制造方法

摘要

提供能提高生产率的X射线摄像面板及其制造方法。摄像面板(1)在基板(101)具有有源区域和端子区域。端子区域具备：第1导电层(100)；端子用第1绝缘膜(103)，其包括与有源区域的第1绝缘膜相同的材料，具有第1开口；第2导电层(1701)，其包括与有源区域的导电膜相同的材料，在设置有第1开口的位置与第1导电层(100)重叠；以及覆盖层，其在设置有第1开口的位置配置在第1导电层(100)与第2导电层(1701)之间。第1导电层(100)包括与有源区域的薄膜晶体管的栅极电极或源极电极、以及下部电极中的任意1个元件相同的材料。覆盖层包括与有源区域的源极电极、下部电极以及偏置配线中的、相比于包括与第1导电层(100)相同的材料的元件配置在上层的至少1个元件相同的材料。

主权项

1.一种摄像面板，基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像，上述摄像面板的特征在于，具有基板，并且在上述基板上具有有源区域和端子区域，上述有源区域具备：薄膜晶体管，其设置在上述基板上；第1绝缘膜，其设置在上述薄膜晶体管之上；下部电极，其设置在上述第1绝缘膜之上；光电转换层，其设置在上述下部电极之上，将上述闪烁光转换为电荷；上部电极，其设置在上述光电转换层之上；第2绝缘膜，其在上述上部电极之上分开配置，具有接触孔；导电膜，其配置在上述第2绝缘膜之上，经由上述接触孔与上述上部电极连接；以及偏置配线，其配置在上述第2绝缘膜之上，与上述导电膜连接，上述端子区域具备：第1导电层，其设置在上述基板上，与上述薄膜晶体管的栅极电极或源极电极连接；端子用第1绝缘膜，其包括与上述第1绝缘膜或上述第2绝缘膜相同的材料，在上述第1导电层的一部分之上分开设置，具有第1开口；第2导电层，其包括与上述导电膜相同的材料，设置在上述端子用第1绝缘膜的上层，在设置有上述第1开口的位置上与上述第1导电层重叠；以及覆盖层，其在设置有上述第1开口的位置上重叠配置在上述第1导电层与上述第2导电层之间，上述第1导电层包括与上述栅极电极、上述源极电极以及上述下部电极中的任意1个元件相同的材料，上述覆盖层包括与上述源极电极、上述下部电极以及上述偏置配线中的、相比于包括与上述第1导电层相同的材料的上述元件配置在上层的至少1个元件相同的材料。