[发明专利]一种用于高频应用的探针卡有效
| 申请号： | 201880011726.1 | 申请日： | 2018-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN110291407B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 斯太法罗·费利奇 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;侯晓艳 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子器件的测试装置的探针卡(20)包括测试头(21)、支撑板(23)和柔性膜(25)，所述测试头(21)容纳沿第一端部(24A)和第二端部(24B)之间的纵向轴线(H‑H)延伸的多个接触元件(22)，所述第一端部(24A)适于抵靠在所述支撑板(23)上。适当地，所述测试头(21)设置在所述支撑板(23)和所述柔性膜(25)的所述第一部分(25A)之间，所述柔性膜(25)通过其第二部分(25B)连接到所述支撑板(23)，所述探针卡(20)还包括布置在所述柔性膜(25)的第一部分(25A)处的所述柔性膜(25)的第一面(F1)上的多个接触尖端(27)，各接触元件(22)的所述第二端部(24B)适于抵靠在所述柔性膜(25)的第二面(F2)上，所述第二面(F2)与所述第一面(F1)相对，所述接触元件(22)的数量和分布与所述接触尖端(27)的数量和分布不同。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高频 应用 探针 | ||
【主权项】：
1.一种电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括测试头(21)、支撑板(23)和柔性膜(25)，所述测试头(21)容纳沿第一端部(24A)和第二端部(24B)之间的纵向轴线(H‑H)延伸的多个接触元件(22)，所述第一端部(24A)适于抵靠在所述支撑板(23)上，所述探针卡(20)的特征在于，所述测试头(21)设置在所述支撑板(23)和所述柔性膜(25)的所述第一部分(25A)之间，所述柔性膜(25)通过其第二部分(25B)连接到所述支撑板(23)，所述探针卡(20)还包括多个接触尖端(27)，其布置在所述柔性膜(25)的第一部分(25A)处的所述柔性膜(25)的第一面(F1)上，各接触元件(22)的所述第二端部(24B)适于抵靠在所述柔性膜(25)的第二面(F2)上，所述第二面(F2)与所述第一面(F1)相对，所述接触元件(22)的数量和分布与所述接触尖端(27)的数量和分布不同。
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