[发明专利]荧光X射线分析方法以及荧光X射线分析装置

摘要

在基于FP法的荧光X射线分析方法中，在用于求出灵敏度常数的标准试样理论强度计算步骤以及反复计算之中的未知试样理论强度计算步骤中使用的预定的理论强度式方面，仅仅对于与X射线的吸收相关的吸收项，按照使得全部成分的浓度比的合计成为1的方式将各成分的浓度比进行标准化。

主权项

1.一种荧光X射线分析方法，该荧光X射线分析方法具备以下的步骤：标准试样测定步骤，对以元素或者化合物为成分且组成为已知的标准试样照射一次X射线，测定由标准试样中的成分产生的荧光X射线的强度，标准试样理论强度计算步骤，基于标准试样中的成分的浓度比，利用预定的理论强度式而计算由标准试样中的成分产生的荧光X射线的理论强度，灵敏度常数计算步骤，基于由所述标准试样测定步骤测定出的强度以及由所述标准试样理论强度计算步骤计算出的理论强度而计算灵敏度常数，未知试样测定步骤，对以元素或者化合物为成分且组成为未知的未知试样照射一次X射线，测定由未知试样中的成分产生的荧光X射线的强度，换算步骤，使用所述灵敏度常数将由该未知试样测定步骤测定出的强度换算为理论强度级别而设为换算测定强度，初始值假定步骤，假定对于未知试样中的成分而推定出的浓度比的初始值，未知试样理论强度计算步骤，基于最新的推定出的浓度比，利用所述预定的理论强度式而计算由未知试样中的成分产生的荧光X射线的理论强度，更新步骤，基于由该未知试样理论强度计算步骤计算出的理论强度以及由所述换算步骤换算出的换算测定强度而将所述推定出的浓度比进行更新，收敛判定步骤，基于该更新步骤中的更新前后的推定出的浓度比以及预定的收敛条件而进行收敛判定，结果输出步骤，输出最新推定出的浓度比作为应当求出的未知试样中的成分的浓度比，并且，在所述收敛判定步骤中，在判定为未收敛的情况下将次序返回向所述未知试样理论强度计算步骤，在判定为收敛的情况下将次序推进向所述结果输出步骤；在所述荧光X射线分析方法中，在所述标准试样理论强度计算步骤以及所述未知试样理论强度计算步骤中使用的所述预定的理论强度式方面，仅仅对于与X射线的吸收相关的吸收项，按照使得全部成分的浓度比的合计成为1的方式将各成分的浓度比进行标准化。