[发明专利]用于测量高温环境中的射频电功率的电压-电流探针及其校准方法有效
| 申请号： | 201880012154.9 | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110291408B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | Z·J·叶;J·D·平森二世;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯;A·A·哈贾 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01R15/18 | 分类号： | G01R15/18;H01J37/32;G01R35/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电压‑电流传感器，所述电压‑电流传感器实现更精确测量被输送到高温处理区域的RF功率的电压、电流和相位。所述传感器可包括平面主体、测量开口、电压拾取器以及电流拾取器，所述平面主体包括非有机的电绝缘材料，所述测量开口形成于平面主体中，所述电压拾取器设置在测量开口周围，并且所述电流拾取器设置在测量开口周围。由于传感器的平面配置和材料成分，传感器可设置在等离子体处理腔室的高温表面附近或与等离子体处理腔室的高温表面接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 高温 环境 中的 射频 电功率 电压 电流 探针 及其 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电压‑电流传感器组件，包括：平面主体，所述平面主体包括非有机的电绝缘材料；测量开口，所述测量开口形成在所述平面主体中；电压拾取器，所述电压拾取器设置在所述测量开口周围，其中所述电压拾取器电耦接至第一电压测量电路；以及电流拾取器，所述电流拾取器设置在所述测量开口周围，其中所述电流拾取器电耦接至第一电流测量电路。
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