[发明专利]用于对锚定件移动不敏感的传感器的锚定结构有效
| 申请号： | 201880012425.0 | 申请日： | 2018-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN110637208B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | J·鲁欧西欧;L·科罗纳托;G·加弗埃力 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/574 | 分类号： | G01C19/574 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS传感器包括基板和MEMS层。MEMS层内的多个锚定点悬挂着悬挂的弹簧‑质块系统，该弹簧‑质块系统包括响应于诸如线性加速度、角速度、压力或磁场之类的感兴趣的力的活动微机械部件。弹簧和刚性质块将活动部件耦合到锚定点，使得锚定点的位移基本上不会导致MEMS层内的活动部件移出平面外。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 锚定 移动 敏感 传感器 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机电MEMS传感器，包括：/n至少一个锚定部件；/n从所述至少一个锚定部件悬挂的弹簧-质块系统，所述弹簧-质块系统包括：/n至少一个感测质块，其中所述至少一个感测质块响应于感测到的惯性力而移动；/n刚性质块，通过至少一个锚定弹簧耦合到所述至少一个锚定部件，其中所述至少一个感测质块经由刚性质块和锚定弹簧耦合到所述至少一个锚定部件，并且其中刚性质块在MEMS传感器的操作期间并且响应于感测到的惯性力而基本上静止。/n
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