[发明专利]金属化膜及其制造方法有效
| 申请号： | 201880012436.9 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN110392746B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 藤信男;都地辉明 | 申请（专利权）人： | 东丽KP薄膜股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/20 | 分类号： | C23C14/20;B32B15/082;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/14;C23C28/02;C25D5/56;C25D7/00;H05K1/03 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;焦成美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明使用物理蒸镀法在平滑的氟树脂上形成平滑的薄膜铜膜，并且，适当选择物理蒸镀法的种类，从而提供在氟树脂与铜膜之间确保密合强度、能够形成布线的金属化膜。通过将由溅射形成的金属膜的厚度控制在最小限度、并组合真空蒸镀法，从而提供能够进行电解电镀、密合强度稳定且能够形成布线的金属化膜。 | ||
| 搜索关键词： | 金属化 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.金属化膜，其特征在于，是在氟树脂膜的一面或两面具有铜膜的金属化膜，所述铜膜从与氟树脂膜接触的一侧起包含铜膜1、铜膜2这两层，铜膜1为10nm以上且40nm以下的膜厚的柱状晶体，铜膜2为0.1μm以上且2.0μm以下的膜厚的柱状晶体。
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