[发明专利]带电粒子束系统和方法有效
| 申请号： | 201880012469.3 | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110313047B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | C.里德塞尔;D.蔡德勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244;H01J37/147;H01J37/09;H01J37/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带电粒子束系统，该带电粒子束系统包括：带电粒子源，该带电粒子源被配置用于生成第一带电粒子束；多束生成器，该多束生成器被配置用于从进入的第一带电粒子束生成多个带电粒子小束，其中，该多个带电粒子小束中的每个单独小束与该多个带电粒子小束中的其他小束在空间上分离开；物镜，该物镜被配置用于以如下方式将进入的带电粒子小束聚焦在第一平面中：该多个带电粒子小束中的第一单独小束撞击在该第一平面中的第一区域与该多个带电粒子小束中的第二单独小束撞击在该第一平面中的第二区域在空间上分离开；投射系统以及包括多个单独检测器的检测器系统，其中，该投射系统被配置用于将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第一区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第一检测器上，并且将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第二区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第二检测器上。在该带电粒子束系统中，该投射系统包括提供低频调整的第一子部件以及提供高频调整的第二子部件。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束系统，包括：带电粒子源，该带电粒子源被配置用于生成第一带电粒子束；多束生成器，该多束生成器被配置用于从进入的第一带电粒子束生成多个带电粒子小束，其中，该多个带电粒子小束中的每个单独小束与该多个带电粒子小束中的其他小束在空间上分离开；物镜，该物镜被配置用于以如下方式将进入的带电粒子小束聚焦在第一平面中：该多个带电粒子小束中的第一单独小束撞击在该第一平面中的第一区域与该多个带电粒子小束中的第二单独小束撞击在该第一平面中的第二区域在空间上分离开；投射系统以及包括多个单独检测器的检测器系统，其中，该投射系统被配置用于将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第一区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第一检测器上，并且将由于撞击的带电粒子而离开该第一平面内的第二区域的交互产物成像到该多个单独检测器中的第二检测器上，并且其中，该投射系统包括提供低频调整的第一子部件以及提供高频调整的第二子部件。
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