[发明专利]感光性树脂组合物、含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件有效
| 申请号： | 201880012501.8 | 申请日： | 2018-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN110325911B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 川端健志;岩井悠;涩谷明规 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;B32B15/088;B32B27/34;C08G73/06;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/038;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种环化反应的进行快，并且经时保存稳定性优异的感光性树脂组合物、以及使用了上述感光性树脂组合物的含杂环聚合物前体、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件。所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的含杂环聚合物前体和溶剂，上述感光性树脂组合物的固体成分的氨值为0.0002～0.0200mmol/g。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 含杂环 聚合物 固化 层叠 制造 方法 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的含杂环聚合物前体和溶剂，所述感光性树脂组合物的固体成分的氨值为0.0002mmol/g～0.0200mmol/g。
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