[发明专利]用于调谐以减小多个状态下的反射功率的系统和方法有效
| 申请号： | 201880013295.2 | 申请日： | 2018-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN110326083B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 乔恩·麦克切斯尼;亚历山大·帕特森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于调谐以减小多个状态中的反射功率的系统和方法。该方法包括确定阻抗匹配电路的一个或多个参数的值，使得针对多个状态减小反射功率。这种反射功率的减小增加了耦合到阻抗匹配电路的射频发生器的寿命，同时使用多个状态同时处理衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调谐 减小 状态 反射 功率 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于调谐以减小多个状态中的反射功率的方法，其包括：通过射频(RF)发生器经由阻抗匹配电路向等离子体室供应在数字脉冲信号的第一状态期间的功率；测量在所述第一状态期间在所述RF发生器的输出处反射的功率量；通过所述RF发生器经由所述阻抗匹配电路向所述等离子体室供应在所述数字脉冲信号的第二状态期间的功率；测量在所述第二状态期间在所述RF发生器的所述输出处反射的功率量；以及控制所述阻抗匹配电路的参数以将在所述第一状态期间测量的所述功率量减小到最小值并且将在所述第二状态期间测量的所述功率量减小到最小值。
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