[发明专利]电极层分区有效
| 申请号： | 201880013532.5 | 申请日： | 2018-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN110366685B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | A·卡斯特罗;M·汤普森;L·巴尔达萨雷;S·尼灿;H·乔哈里-加勒 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上，并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 分区 | ||
【主权项】：
1.一种用于提供对微机电系统MEMS设备上的外力的电容性感测的系统，所述系统包括：位于第一平面中的衬底；MEMS设备层的可移动部件，所述MEMS设备层耦合于所述衬底，其中所述可移动部件响应于所述外力沿着第一轴移动；以及设置在所述第一平面中的所述衬底上的感测电极，其中第一电容性感测元件在所述可移动部件和第一感测电极之间形成，其中所述第一电容性感测元件被配置为响应于所述可移动部件的沿着所述第一轴的运动，以及其中所述感测电极包括基本上在所述感测电极的两个非相邻边之间延伸的多个槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应美盛股份有限公司，未经应美盛股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880013532.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：集装箱冲击检测系统
- 下一篇：光诱导力显微镜的频率调制检测
