[发明专利]采用衍射检测器的样本检查设备有效

专利信息
申请号: 201880014087.4 申请日: 2018-02-22
公开(公告)号: CN110325846B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: P·埃文斯;K·罗杰斯 申请(专利权)人: 诺丁汉特伦特大学;克兰菲尔德大学
主分类号: G01N23/20008 分类号: G01N23/20008;G01N23/205
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 英国诺丁汉*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种样本检查设备(100)以圆锥壳(112)的X光或类似辐射照射样本(110),用于从样本(110)上的圆形路径(122)产生多个德拜环。该设备(100)设置有两个检测器(1400,1402);第一检测器(1400)接收衍射辐射,且第二检测器(1402)接收通过在第一检测器(1400)的检测表面处设置的编码孔径(1404)传送的辐射。
搜索关键词: 采用 衍射 检测器 样本 检查 设备
【主权项】:
1.一种样本检查设备,包括:电磁辐射源;射束形成准直仪,用于产生基本上圆锥壳的辐射,第一辐射检测器,被设置成在圆锥壳射束入射到待检样本上之后接收衍射辐射;编码孔径,设置在所述第一辐射检测器的检测表面处;以及范围检测器,被设置成收集通过所述编码孔径传送的辐射。
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