[发明专利]微机械压力传感器有效
| 申请号： | 201880015292.2 | 申请日： | 2018-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN110383027B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | V·森兹;R·毛尔;T·德盖伊;T·弗里德里希;A·丹嫩贝格;F·卢卡奇;H·格鲁茨埃克;F·霍伊克;M·施瓦茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L19/06;G01L19/00;G01L19/14;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器具有：‑压力传感器芯(10)，该压力传感器芯具有传感器膜片(14)和构造在所述传感器膜片(14)上方的腔(11)；和‑压力传感器框架(20)；其中，‑用于将所述压力传感器芯(10)机械附接到所述压力传感器框架(20)上的弹簧元件(15)这样构造，使得机械稳固性最大化并且从所述压力传感器框架(20)到所述压力传感器芯(10)上的应力耦入最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器具有：‑压力传感器芯(10)，该压力传感器芯具有传感器膜片(14)和构造在所述传感器膜片(14)上方的腔(11)；和‑压力传感器框架(20)；其中，‑用于将所述压力传感器芯(10)机械地附接到所述压力传感器框架(20)上的弹簧元件(15)这样构造，使得机械稳固性最大化并且从所述压力传感器框架(20)到所述压力传感器芯(10)上的应力耦入最小化。
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