[发明专利]检查装置和接触方法

摘要

检查装置具备：卡盘顶部(20)，其用于保持晶圆(W)；探针卡(18)，其与卡盘顶部(20)上的晶圆(W)相对设置，在与晶圆(W)相对的相对面具有多个触针(18a)；弹性框架(23)，其支承探针卡(18)的与晶圆(W)相反的面；波纹管(32)，其围绕探针卡(18)和触针(18a)，在晶圆(W)或与触针(18a)接近或已接触时形成密闭空间(S)；排气路径(34)，其用于对密闭空间(S)进行减压；机械式止挡件(36)，其设置于弹性框架(23)与卡盘顶部(20)之间，在预定的接触形成到晶圆(W)与触针(18a)之间时限制卡盘顶部(20)的上下方向的倾斜。

主权项

1.一种检查装置，其是在减压状态下使多个触针与基板接触而检查所述基板上的器件的电气特性的检查装置，其特征在于，该检查装置具备：基板保持构件，其用于保持所述基板；探针卡，其与保持到所述基板保持构件的所述基板相对设置，在与所述基板相对的相对面具有多个触针；支承构件，其支承所述探针卡的与所述基板那一侧相反的面；波纹管，其围绕所述探针卡和所述触针，在所述基板与所述触针接近或已接触时与所述支承构件和所述基板保持构件一起形成密闭空间；排气路径，其用于对所述密闭空间进行减压而形成减压空间；以及倾斜限制机构，其设置于所述支承构件与所述基板保持构件之间，在预定的接触形成于所述基板与所述多个触针之间时限制所述基板保持构件的上下方向的倾斜。