[发明专利]运输环

摘要

本发明涉及一种用于运输基片的设备，所述基片是至少部分围绕环形开口的环形体(1)的形状，所述环形体具有相对于环形开口径向向外突伸的第一部段(2)和径向向内突伸的第二部段(3)，其中，这些部段(2、3)分别具有热传递特性，其导致在相对于环形开口的平面的面法向存在轴向温度差时出现从相应的下宽侧面至相应的上宽侧面的经由所述部段的轴向的热传递。所述第一部段(2)的至少一种热传递特性与所述第二部段(3)的热传递特性不同，使得沿轴向在所述第一部段(2)中流过单位面积的热量小于在所述第二部段(3)中流过单位面积的热量，其中，热传递特性是这些部段(2、3)的至少一个沿轴向指向的表面的单位导热能力或辐射率。

主权项

1.一种用于运输基片的设备，所述设备呈至少部分围绕环形开口的环形体(1)的形式，所述环形体放置在由被加热的基座(16)支承的基片支架(12)的环形阶梯(15)上，所述环形体具有相对于环形开口径向向外突伸的第一部段(2)，所述第一部段具有向上指向的第一上宽侧面(4)和向下指向的第一下宽侧面(6)，并且所述第一部段朝径向向外的方向突伸超出基片支架(12)并且从基座(16)的上侧(17)通过热辐射接收第一热流(Q₁)，并且所述环形体具有径向向内突伸的第二部段(3)，所述第二部段通过向上指向的第二上宽侧面构成放置面(5)，所述基片(11)的边缘布置在所述放置面上，并且所述第二部段具有向下指向的第二下宽侧面(6)，所述第二下宽侧面放置在向上指向的环形阶梯(15)上，使得所述基片(11)的边缘通过经由所述第二部段(3)的第二热流(Q₂)被加热，其中，这些部段(2、3)分别具有热传递特性，所述热传递特性导致在相对于环形开口的平面的面法向存在轴向温度差时确定从相应的下宽侧面(6、7)至相应的上宽侧面(4)的经由所述部段的轴向的热传递，其特征在于，所述第一部段(2)的至少一种热传递特性与所述第二部段(3)的热传递特性不同，使得沿轴向在所述第一部段(2)中流过单位面积的热量小于在所述第二部段(3)中流过单位面积的热量。/n