[发明专利]具有固态发生器功率源的微波施加器

摘要

微波系统具有固态发生器，该固态发生器产生微波能量并包括用于接收用于电气地改变微波能量的参数的控制信号的至少一个控制输入端。微波负载接收微波能量并响应于微波能量而产生效果。微波传导元件将微波能量耦合到微波负载。阻抗匹配调节装置耦合到微波传导元件，以改变微波能量的参数中的至少一个。响应于微波能量而产生的效果通过以下两者而被改变：控制信号对微波能量的参数的电气变化、和用于改变微波能量的参数的对阻抗匹配调节装置的调节。

主权项

1.一种微波系统，包括：固态发生器，所述固态发生器用于产生由一个或多个参数表征的微波能量，所述固态发生器具有至少一个控制输入端，所述控制输入端用于接收用于电气地改变所述微波能量的一个或多个参数的控制信号；微波负载，所述微波负载用于接收所述微波能量并响应于所述微波能量而产生效果；微波传导元件，所述微波传导元件用于将所述微波能量耦合到所述微波负载；阻抗匹配调节装置，所述阻抗匹配调节装置被耦合到所述微波传导元件，以改变所述微波能量的一个或多个参数中的至少一个参数；以及控制器，所述控制器用于产生所述控制信号以改变所述微波能量的一个或多个参数；其中响应于所述微波能量而产生的效果通过以下两者而被改变：所述控制信号对所述微波能量的一个或多个参数的电气变化、和用于改变所述微波能量的一个或多个参数中的至少一个参数的对所述阻抗匹配调节装置的调节。