[发明专利]含有新型多触发单体的抗蚀剂组合物和方法在审
| 申请号： | 201880017317.2 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN110959137A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | A·P·G·罗宾森;A·麦克兰德;A·弗罗姆霍尔德;杨东旭;J·L·罗斯;D·尤尔 | 申请（专利权）人： | A·P·G·罗宾森;A·麦克兰德;A·弗罗姆霍尔德;杨东旭;J·L·罗斯;D·尤尔 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 周积德 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及含有新型多触发单体的负性光致抗蚀剂组合物和方法。该方法包括在第一步骤中从交联官能团中除去酸不稳定性保护基团，并在第二步中用酸敏交联剂使交联官能团交联。在抗蚀剂催化链中引入多触发途径增加接受低剂量辐射的区域中的化学梯度，有效地充当内置剂量依赖性猝灭剂‑类似物，并因此增强化学梯度并因此增强分辨率、分辨率模糊和曝光宽容度。抗蚀剂组合物利用新单体以及新单体的混合物。该方法对于使用例如紫外线辐射、超过极紫外辐射、极紫外辐射、X射线和带电粒子射线的精细图案处理是理想的。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 新型 触发 单体 抗蚀剂 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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