[发明专利]光组件有效
申请号: | 201880017378.9 | 申请日: | 2018-03-14 |
公开(公告)号: | CN110392857B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 铃木智史;杉本达哉;港谷恭辅 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;B81B3/00;G01J3/45;G01N21/35;G02B26/06 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明光组件包括支承层(2)、设置在支承层(2)上的器件层(3)、和安装于器件层(3)的可动反射镜(5)。器件层(3)具有:安装有可动反射镜(5)的安装区域(31)、和与安装区域(31)连接的驱动区域(32)。在支承层(2)与器件层(3)之间形成有至少与安装区域(31)和驱动区域(32)对应的空间(S1)。安装区域(31)被驱动区域(32)中包含的一对弹性支承区域(34)夹着,由一对弹性支承区域(34)支承。 | ||
搜索关键词: | 组件 | ||
【主权项】:
1.一种光组件,其特征在于,包括:支承层;设置在所述支承层上的器件层;和安装于所述器件层的可动反射镜,所述器件层具有:用于安装所述可动反射镜的安装区域;和与所述安装区域连接的驱动区域,在所述支承层与所述器件层之间形成有至少与所述安装区域和所述驱动区域对应的空间,所述安装区域被所述驱动区域中包含的一对弹性支承区域夹着,由所述一对弹性支承区域支承。
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