[发明专利]可拉伸超声换能器器件在审
| 申请号： | 201880017393.3 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN110419115A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 徐升;张麟;王冲和;胡鸿杰;李骁时 | 申请（专利权）人： | 加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/00;H04R17/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨宝霏;夏凯 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于执行超声波等的适形压电换能器阵列包括聚硅氧烷弹性体基底和聚硅氧烷弹性体覆盖层。多个压电换能器元件布置在基底和覆盖层之间。第一电互连层与换能器元件的第一表面电互连，该换能器元件的第一表面与基底相邻，并且第二电互连层与换能器元件的第二表面电互连，该换能器元件的第二表面与覆盖层相邻。 | ||
| 搜索关键词： | 换能器元件 电互连 覆盖层 基底 聚硅氧烷弹性体 第二表面 第一表面 压电换能器阵列 超声换能器 压电换能器 元件布置 超声波 拉伸 适形 | ||
【主权项】：
1.一种适形压电换能器阵列，包括：聚硅氧烷弹性体基底和聚硅氧烷弹性体覆盖层；多个压电换能器元件，所述多个压电换能器元件被布置在所述基底和所述覆盖层之间；第一电互连层，所述第一电互连层与所述换能器元件的第一表面电互连，所述换能器元件的第一表面与所述基底相邻；以及第二电互连层，所述第二电互连层与所述换能器元件的第二表面电互连，所述换能器元件的第二表面与所述覆盖层相邻。
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