[发明专利]双重气体轴承基底定位系统

摘要

双重气体轴承系统包括真空预压气体轴承、基底和气体轴承支撑器。将真空预压气体轴承以固定位置安装到机器底座。该基底具有面向真空预压气体轴承的输出面的第一表面和面向气体轴承支撑器的输出面的相对的第二表面。气体轴承在垂直于真空预压气体轴承的输出面的方向上可自由移动。通过真空预压气体轴承的输出面的气流将第一净力赋予基底的第一表面上，且通过气体轴承支撑器的气流将第二净力赋予基底的第二表面上，其中第二净力和气体轴承支撑器的输出面之间的间隙与基底的位置和厚度无关。

主权项

1.双重气体轴承系统，其包含：具有输出面的真空预压气体轴承，其中所述真空预压气体轴承以固定位置安装于机器底座；基底，其具有面向所述真空预压气体轴承的输出面的第一表面和相对的第二表面，其中所述基底的位置可在垂直于所述真空预压气体轴承的输出面的方向上移动，且其中通过所述真空预压气体轴承的输出面的气流将第一净力赋予到所述基底的第一表面上；和气体轴承支撑器，其具有面向所述基底的第二表面的输出面， 其中所述气体轴承支撑器可在垂直于所述真空预压气体轴承的输出面的方向上自由移动，且其中通过所述气体轴承支撑器的输出面的气流将第二净力赋予到所述基底的第二表面上，并提供所述气体轴承支撑器的输出面与所述基底的第二表面之间的间隙，且其中所述第二净力和所述气体轴承支撑器的输出面与所述基底的第二表面之间的间隙与所述基底的位置和厚度无关。