[发明专利]包括自旋缺陷的扫描传感器有效
| 申请号： | 201880018187.4 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110462417B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·德根;延斯·博斯;凯文·昌;扬·莱茵修斯 | 申请（专利权）人： | 苏黎世联邦理工学院 |
| 主分类号： | G01R33/32 | 分类号： | G01R33/32;G01N24/10;G01R33/12;G01Q60/52;G01N21/64;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 黄霖;杨颖 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种传感器装置，该传感器装置包括载体(10)、力反馈传感器(20)和包括自旋缺陷(46)的探头(40)，该探头经由手柄结构件(30)直接或间接地连接至力反馈传感器。为了以有效且稳健的方式将自旋缺陷耦合至微波场，传感器装置包括集成的微波天线(50)，微波天线(50)布置在距自旋缺陷小于500微米的距离处。传感器装置可以构造为独立的可更换盒，其可以容易地安装在扫描探头显微镜的传感器安装部中。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 自旋 缺陷 扫描 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器装置，包括：/n载体(10)；/n力反馈传感器(20)，所述力反馈传感器(20)连接至所述载体(10)；以及/n探头(40)，所述探头(40)包括自旋缺陷(46)，所述探头(40)经由手柄结构件(30)直接或间接地连接至所述力反馈传感器(20)；/n其特征在于，所述传感器装置还包括集成的微波天线(50)，所述微波天线(50)布置在距所述自旋缺陷(46)小于500微米的距离处。/n
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