[发明专利]将氧化镁插入磁性记忆体应用所用的自由层有效

专利信息
申请号: 201880018932.5 申请日: 2018-02-27
公开(公告)号: CN110915010B 公开(公告)日: 2023-05-05
发明(设计)人: 裘地·玛丽·艾维塔;真杰诺;童儒颖;王柏刚 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H10N50/10 分类号: H10N50/10;H10N50/01;H10N50/85;G11C11/16
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 张福根;付文川
地址: 中国台*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 揭露的磁穿隧接面中,自由层与第一金属氧化物(高介电常数增进层)与第二金属氧化物(穿隧阻障层)分别具有第一界面与第二界面,可产生垂直磁向异性以增加热稳定性。在一些实施例中,金属簇形成于自由层中,之后通过捕获氧可部分或完全氧化金属簇,以产生额外的自由层/氧化物界面,其可增进垂直磁向异性、提供可接收的电阻×面积值、并维持磁阻比例。在其他实施例中,自由层中连续或不连续的金属层(M)或合金层(MQ)可与捕获的氧反应形成部分氧化的金属层或合金层,其增进垂直磁向异性并维持可接受的电阻×面积值。M系镁、铝、硼、钙、钡、锶、钽、硅、锰、钛、锆、或铪,而Q系过渡金属、硼、碳、或铝。
搜索关键词: 氧化镁 插入 磁性 记忆体 应用 所用 自由
【主权项】:
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