[发明专利]计量靶有效
| 申请号： | 201880019778.3 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN110446979B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | H-M.斯蒂潘 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/42;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及计量靶。本发明还涉及表征晶片、掩模或CGH的形式的结构化元件的方法和装置。根据一个方面，计量靶具有周期性结构或准周期性结构，其中所述结构由多个参数来表征，其中所述参数中的至少一个局部单调地变化，其中在5μm的距离之上该变化的最大尺寸小于10％；其中计量靶具有至少一个有用的结构和至少一个辅助结构，其中相对于局部单调变化的参数，辅助结构逐步地合并到有用的结构中。 | ||
| 搜索关键词： | 计量 | ||
【主权项】：
1.一种计量靶，其中所述计量靶具有周期性结构或准周期性结构，其中所述结构由多个参数来表征，其中所述参数中的至少一个局部单调地变化，其中在5μm的距离之上该变化的最大尺寸小于10％；并且其中所述计量靶具有至少一个所使用的结构和至少一个辅助结构，其中所述辅助结构相对于局部单调变化的参数逐步地转变到所述所使用的结构中。
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