[发明专利]用于在OVPD覆层设备内降低水的分压的设备和方法在审
| 申请号： | 201880020824.1 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN110462094A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | A.乔治 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭程<国际申请>=PCT/EP2018/ |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于在基板(13)上沉积由有机材料构成的层的设备，所述设备具有具备加热装置(31)的、布置在反应器壳体(1)内的进气机构(7)和蒸汽发生器(30)，有机的初始材料通过所述蒸汽发生器能够变为蒸汽形式并且所述蒸汽发生器通过输入管路(8)与所述进气机构(7)相连，所产生的蒸汽和输入到蒸汽发生器(30)内的惰性气体通过所述输入管路被输送到所述进气机构(7)中，并且所述设备还具有具备冷却装置(32)的、布置在反应器壳体(1)内的、用于放置基板(13)的基板支架(14)。设有冷却区域(20、28)和能使所述冷却区域(20、28)冷却到200K以下温度的器件(24、29)，其中，所述冷却区域由具有被冷却的表面的冷却嵌板(20)构成，所述冷却嵌板(20)用于使至少0.1mbar的惰性气体气压中的水的分压降低。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸汽发生器 冷却 进气机构 冷却区域 反应器壳体 输入管路 基板 嵌板 惰性气体气压 材料通过 惰性气体 基板支架 加热装置 冷却装置 有机材料 蒸汽形式 分压 沉积 蒸汽 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板(13)上沉积由有机材料构成的层的设备，所述设备具有具备加热装置(31)的、布置在反应器壳体(1)内的进气机构(7)和蒸汽发生器(30)，有机的初始材料通过所述蒸汽发生器能够变为蒸汽形式并且所述蒸汽发生器通过输入管路(8)与所述进气机构(7)相连，所产生的蒸汽和输入到蒸汽发生器(30)内的惰性气体通过所述输入管路被输送到所述进气机构(7)中，并且所述设备还具有具备冷却装置(32)的、布置在反应器壳体(1)内的、用于放置基板(13)的基板支架(14)，其特征在于，设有冷却区域(20、28)和能使所述冷却区域(20、28)冷却到200K以下温度的器件(24、29)，其中，所述冷却区域(20、28)布置在所述反应器壳体(1)内，使得惰性气体流过所述冷却区域，以便从惰性气体中冻结出水蒸气。/n
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