[发明专利]感光性元件及感光性元件卷在审
申请号: | 201880021374.8 | 申请日: | 2018-03-26 |
公开(公告)号: | CN110462518A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 吉田英树;向郁夫 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09;G03F7/004;G06F3/041 |
代理公司: | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 白丽<国际申请>=PCT/JP2018/ |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的感光性元件具备支撑膜和设置在支撑膜的一面上的感光性树脂层。在支撑膜的另一面中,破泡痕的密度为30个/0.25m2以下,并且破泡痕的直径为40μm以上且100μm以下。 | ||
搜索关键词: | 支撑膜 破泡 感光性树脂层 感光性元件 | ||
【主权项】:
1.一种感光性元件,其具备支撑膜、设置在所述支撑膜的一面上的感光性树脂层、以及设置在所述感光性树脂层的与所述支撑膜相反的一面上的保护膜,在所述支撑膜的另一面中,破泡痕的密度为30个/0.25m2以下,并且所述破泡痕的直径为40μm以上且100μm以下。/n
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