[发明专利]用于引导自由电子激光器输出束的光学组件

摘要

一种光学组件，用以将自由电子激光器的输出束引导至EUV投射曝光装置的下游照明光学组件。光学组件具有第一及第二GI反射镜，其每一个具有将由输出束撞击的结构化反射表面。在第一GI反射镜上的第一入射角大于1mrad且小于10mrad。产生最大的第一散射角，其为第一入射角的至少50％且至多100％。在第二GI反射镜上的第二入射角为第一入射角的至少两倍大。输出束的最大第二散射角为第二入射角的至少30％且至多100％。两个GI反射镜上的两入射平面包含相对彼此大于45°的一角度。具有两电极的中空波导及离子化光源可为此光学组件的构成部分。具有至少一个磁极靴对的磁体配置同样可为此光学组件的构成部分。

主权项

1.一种光学组件(13；29；32；34；35；36；40；42)，用以将自由电子激光器(FEL、2)的输出束导(2a)引导至EUV投射曝光装置(4)的下游照明光学组件(15，18)，其中该光学组件(13；29；32；34；35；36；40；42)包含：/n-第一GI反射镜(23)，具有结构化第一反射表面(24)，该输出束(2a)以第一入射角(α₁)撞击于该结构化第一反射表面上，在第一入射平面(yz)中在该输出束(2a)与该第一反射表面(24)之间测得该第一入射角；/n-其中该第一入射角(α₁)大于1mrad且小于10mrad；/n-其中该结构化第一反射表面(24)产生该输出束(2a)的最大第一散射角，其为该第一入射角(α₁)的至少50％且至多100％；/n-第二GI反射镜(25)，其在该输出束(2a)的光束路径中设置于该第一GI反射镜(23)的下游，该第二GI反射镜具有结构化第二反射表面(26)，该输出束(2a)以第二入射角(α₂)撞击于该结构化第二反射表面上，在第二入射平面(xy)中在该输出束(2a)与该第二反射表面(26)之间测得该第二入射角；/n-其中该第二入射平面(xy)与该第一入射平面(yz)包含大于45°的角度；/n-其中该第二入射角(α₂)为该第一入射角(α₁)的至少两倍大；/n-其中该结构化第二反射表面(26)产生该输出束(2a)的最大第二散射角，其为该第二入射角(α₂)的至少30％且至多100％。/n