[发明专利]用于测量气体浓度的传感器有效
申请号: | 201880022975.0 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN110476059B | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | S·巴尔奇;D·埃格利;P·杜蒙德 | 申请(专利权)人: | 盛思锐股份公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 石海霞;金鹏 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及一种用于测量环境空气样本中的目标气体的气体浓度的传感器。传感器包括第一气敏组件、第二气敏组件和加热元件,第一气敏组件包括设置在第一对测量电极之间的第一气敏层,第二气敏组件(120)包括设置在第二对测量电极(之间的第二气敏层,加热元件(135)用于加热第一气敏层和第二气敏层。第一气敏组件被配置为测量第一浓度带中的、目标气体的气体浓度,第二气敏组件被配置为测量第二浓度带中的、目标气体的气体浓度。传感器被配置为在相应的过渡状态中运行以测量第一浓度带和第二浓度带。过渡状态位于扰动状态和饱和状态之间。过渡状态的特征在于对目标气体的灵敏度高于扰动状态和饱和状态对目标气体的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 气体 浓度 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量环境空气样本中的目标气体的气体浓度的传感器,所述传感器包括:/n第一气敏组件(110),包括设置在第一对测量电极(160)之间的第一气敏层(111),所述第一气敏层包括金属氧化物半导体;/n第二气敏组件(120),包括设置在第二对测量电极(161)之间的第二气敏层(121),所述第二气敏层包括金属氧化物半导体;/n一个或多个加热元件(135),被配置为加热所述第一气敏层(111)和第二气敏层(121);/n其中,/n所述第一气敏组件(110)被配置为测量第一浓度带中的目标气体的气体浓度;并且/n所述第二气敏组件(120)被配置为测量第二浓度带中的目标气体的气体浓度;/n其中,所述传感器被配置为在相应的过渡状态中运行以测量第一浓度带和测量第二浓度带,所述过渡状态位于扰动状态和饱和状态之间,其中,所述过渡状态的特征在于对目标气体的灵敏度高于扰动状态和饱和状态对目标气体的灵敏度。/n
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