[发明专利]用于远程感测等离子体的系统和方法有效
| 申请号： | 201880023299.9 | 申请日： | 2018-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN110520960B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | P·J·麦克纳利;S·凯利 | 申请（专利权）人： | 都柏林城市大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于远程监测等离子体(3)的方法和系统，该系统包括位于耦合等离子体源的近电磁场中的磁场天线(2)，其中，该磁场天线是置于该近电磁场中的磁环天线并测量从该等离子体源发射的近场信号。一种无线电系统(1)用于分析宽频带上的低功率信号电平。通过对驱动频率的高次谐波上所存在的谐振特征进行拟合来评估诸如串联或几何谐振等离子体频率、和电子中性碰撞频率之类的等离子体参数，以标识制造等离子体系统中常见的电弧、泵、或匹配失效事件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 远程 等离子体 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于远程监测等离子体的系统，所述系统包括：/n磁场天线，所述磁场天线位于耦合等离子体源的近电磁场中，其中，所述磁场天线是置于所述近电磁场中的并被适配用于测量从所述等离子体源发射的近场信号的磁环天线。/n
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