[发明专利]使用相移焦线激光加工透明工件的装置和方法有效
| 申请号： | 201880023323.9 | 申请日： | 2018-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN110494255B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | A·刘;M·R·罗斯 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/00;B23K26/064;B23K26/06;B23K103/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈洁;何焜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于激光加工透明工件的方法包括在透明工件中形成具有缺陷的轮廓线，其包括引导沿着光束路径定向的脉冲激光束通过光束转换元件并通过相位修改光学元件，使得被引导进入透明工件的脉冲激光束的部分包括具有横截面相位轮廓的相移焦线，该横截面相位轮廓包括由相位修改光学元件引起的并沿相位脊线延伸的相位轮廓脊。此外，相移焦线在透明工件内生成诱发吸收以在透明工件内产生缺陷，该缺陷包括中心缺陷区域和从中心缺陷区域在径向缺陷方向上向外延伸的径向臂，该径向缺陷方向定向在相移焦线的相位脊线的20°内。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 相移 激光 加工 透明 工件 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光加工透明工件的方法，所述方法包括：/n在所述透明工件中形成轮廓线，所述轮廓线包括在所述透明工件中的缺陷，其中，形成所述轮廓线包括：/n引导沿着光束路径定向的并且由光束源输出的脉冲激光束通过光束转换元件；以及/n引导所述脉冲激光束通过相位修改光学元件并进入所述透明工件，使得所述脉冲激光束的被引导进入所述透明工件的一部分包括相移焦线，所述相移焦线具有横向于所述脉冲激光束的光束传播方向的横截面相位轮廓，其中：/n所述横截面相位轮廓包括由所述相位修改光学元件引起的一个或多个相位轮廓脊，所述一个或多个相位轮廓脊沿着一个或多个相位脊线延伸；并且/n所述相移焦线在所述透明工件内生成诱发吸收，所述诱发吸收在所述透明工件内产生缺陷，所述缺陷包括中心缺陷区域和至少一个从所述中心缺陷区域在径向缺陷方向上向外延伸的径向臂，所述径向缺陷方向定向在所述相移焦线的所述一个或多个相位脊线的20°内。/n
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