[发明专利]由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷组成并用硬质材料涂覆的物体和用于制造这种物体的方法有效
| 申请号： | 201880024061.8 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN110494593B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | I·恩德勒;M·霍恩 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C16/30;C23C16/36 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 张素玲;赵飞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬质材料涂覆的物体及用于制造该物体的方法，物体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成。根据本发明的硬质材料层例如可用作切削工具的防磨损层、涡轮叶片的保护层或微电子器件中的扩散阻挡层。本发明的目的是提供具有高水平硬度、抗氧化性和优异耐磨性的硬质材料层。该目的包括提供一种用于制造这种硬质材料层的成本有利的方法。该目的通过硬质材料涂覆的物体和用于制造这种物体的方法实现，物体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成并利用无等离子体激发的热CVD工艺涂覆有单层或多层的层体系，该层体系包含至少一个纳米复合材料层，纳米复合材料层具有由立方碳氮氧化钛组成的第一纳米晶相和由碳氮氧化硅或碳氧化硅组成的第二非晶相。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 硬质 金属陶瓷 陶瓷 组成 并用 材料 物体 用于 制造 这种 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硬质材料涂覆的物体，所述物体由金属、硬质金属、金属陶瓷或陶瓷制成，所述物体借助于无等离子体激发的热CVD工艺被涂覆有单层或多层的层体系，其中，所述单层或多层的层体系包含至少一个纳米复合材料层，所述纳米复合材料层具有总组成(TixSiy)(CaNbOc)，其中，0.7<x≤0.99，0.01≤y<0.3，0.4<a<0.9，0.1<b<0.6且0.01<c≤0.1，其中，所述纳米复合材料层包括由微晶尺寸为10nm至100nm的立方碳氮氧化钛组成的第一纳米晶相和由碳氮氧化硅或碳氧化硅组成的第二非晶相，并且其中，所述纳米复合材料层具有在0.001At.％和1At.％之间的氯含量。/n
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