[发明专利]像差校正方法和光学装置有效
| 申请号： | 201880024335.3 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110520779B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 松本直也 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 显微镜装置(1A)包括：具有调制面的SLM(33、36)；配置在调制面与对象物(B)之间的光路上的物镜(12)；和基于包含用于校正起因于对象物(B)的折射率界面的像差的校正图案的调制图案控制SLM(33、36)的计算机(43)，计算机(43)基于折射率界面相对于与物镜(12)的光轴垂直的平面的倾斜信息，决定调制图案的校正图案的位置，由此实现在对象物的折射率界面相对于光轴倾斜的情况下也能够以短时间容易地进行像差校正的像差校正方法和光学装置。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 方法 光学 装置 | ||
【主权项】：
1.一种像差校正方法，其特征在于，/n包括：/n将空间光调制器的调制面与对象物经由物镜光学耦合的耦合步骤；和/n基于包含用于校正起因于所述对象物的折射率界面的像差的校正图案的调制图案，控制所述空间光调制器的控制步骤，/n所述调制图案中的所述校正图案的位置基于所述对象物的所述折射率界面相对于与所述物镜的光轴垂直的平面的倾斜信息来设定。/n
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