[发明专利]静电消除装置以及等离子体发生装置有效
| 申请号： | 201880024348.0 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110574500B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 野村信雄;最上智史;峯村和树;神田大树;森下贵都;细田聪史;国中均 | 申请（专利权）人： | 春日电机株式会社;国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05F3/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 该静电消除装置具备：真空室，能在内部设置带电体，且具备进行蒸镀的高真空处理部；以及等离子体发生装置，向所述真空室的内部供给由电子回旋共振产生的等离子体。所述等离子体发生装置具备：等离子体源，产生所述等离子体；以及法兰，将所述等离子体源设置于所述真空室的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 消除 装置 以及 等离子体 发生 | ||
【主权项】：
1.一种静电消除装置，具备：/n真空室，能在内部设置带电体，且具备高真空处理部；以及/n等离子体发生装置，向所述真空室的内部供给由电子回旋共振产生的等离子体，/n所述等离子体发生装置具备：/n等离子体源，产生所述等离子体；以及/n法兰，将所述等离子体源设置于所述真空室的内部。/n
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