[发明专利]真空泵、磁轴承装置及转子有效
| 申请号： | 201880024595.0 | 申请日： | 2018-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN110520627B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 川岛敏明 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F16C32/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;谭祐祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种减轻转子的振摆及振动的真空泵、磁轴承装置及转子。一种真空泵（1），沿着气体的排气方向，依次配置有转子（20）的重心（G1）、在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的主动径向轴承（71）及在径向方向（R）上以磁力非接触支承转子（20）的被动径向轴承（72）。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 磁轴 装置 转子 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，具备磁轴承装置，所述磁轴承装置具有径向方向磁力发生机构和径向方向变位检测机构，所述径向方向磁力发生机构在径向方向上以磁力非接触支承将气体排气的转子，所述径向方向变位检测机构对所述转子的所述径向方向的变位进行检测，其特征在于，/n所述径向方向磁力发生机构在所述气体的排气方向上在比所述转子的重心靠排气侧设置有两个。/n
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