[发明专利]测量方法有效
| 申请号： | 201880024727.X | 申请日： | 2018-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN110622068B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | N·潘迪;廉晋;S·U·雷曼;M·J·J·贾克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了用于测量在衬底上形成的多个结构的方法和设备。在一种布置中，方法包括从第一测量过程获取数据。第一测量过程包括单独地测量多个结构中的每个结构以测量结构的第一特性。第二测量过程被用于测量多个结构中的每个结构的第二特性。第二测量过程包括利用具有辐射特性的辐射照射每个结构，辐射特性是使用针对该结构所测量的第一特性针对该结构单独地被选择的。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量在衬底上形成的多个结构的方法，所述方法包括：/n从第一测量过程获取数据，所述第一测量过程包括单独地测量所述多个结构中的每个结构以测量所述结构的第一特性；以及/n使用第二测量过程来测量所述多个结构中的每个结构的第二特性，所述第二测量过程包括利用具有辐射特性的辐射照射每个结构，所述辐射特性是使用针对所述结构所测量的第一特性针对所述结构单独地被选择的。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880024727.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
