[发明专利]纳米等离子体仪器、材料、方法和系统集成在审
| 申请号： | 201880024987.7 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN110573860A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | N·巴哈拉;A·S·福瑞德;朱纲羽 | 申请（专利权）人： | 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李栋修;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种用于制造等离子体蘑菇形阵列的方法，所述方法包括：在玻璃基板的表面上形成多个各自具有纳米范围尺度的金属纳米岛；和对其上形成有多个金属纳米岛的玻璃基板进行反应离子蚀刻以使多个金属纳米岛转换为多个蘑菇状结构，所述蘑菇状结构各自具有被由玻璃基板的材料制成的支柱支撑的金属盖，且各自具有小于纳米岛尺度的尺度，多个蘑菇状结构以基本上规则的图案排列，其间隔小于纳米岛之间的平均间隔，由此在玻璃基板上形成能够显示局域表面等离子体共振的多个纳米级蘑菇状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 蘑菇状结构 玻璃基板 金属纳米 纳米岛 局域表面等离子体共振 等离子体 尺度 反应离子蚀刻 范围尺度 平均间隔 图案排列 支柱支撑 金属盖 蘑菇形 纳米级 转换 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造等离子体蘑菇形阵列的方法，所述方法包括：/n在玻璃基板的表面上形成多个金属纳米岛，所述多个金属纳米岛各自具有纳米范围尺度；和/n对其上形成有所述多个金属纳米岛的所述玻璃基板进行反应离子蚀刻以使所述多个金属纳米岛转换为多个蘑菇状结构，所述蘑菇状结构各自具有被由所述玻璃基板的材料制成的支柱支撑的金属盖，且各自具有小于所述纳米岛尺度的尺度，所述多个蘑菇状结构以基本上规则的图案排列，其间隔小于所述纳米岛之间的平均间隔，由此在所述玻璃基板上形成能够显示局域表面等离子体共振的所述多个纳米级蘑菇状结构。/n
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