[发明专利]标记单元在审
| 申请号： | 201880025492.6 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110520688A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 斉藤共啓;福田康幸 | 申请（专利权）人： | 恩普乐股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/00 |
| 代理公司： | 11285 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 侯婧;钟守期<国际申请>=PCT/JP2 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种例如对于相同的对象物，同等条件下，能够简便地进行设置的标记单元。本发明的标记单元含有上基板和下基板，是在所述下基板上层叠了所述上基板的层叠体，其特征在于，所述下基板在其上表面具有露出于所述层叠体上表面侧的下基板被检测部，在其下表面具有位置确定部；所述被检测部能够从所述层叠体的上表面侧检测；所述位置确定部为相对于设置标记单元的被设置体中的设置所述标记单元的被设置部，确定位置的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 下基板 标记单元 层叠体 上表面 位置确定部 被检测部 上基板 设置标记 同等条件 对象物 设置体 下表面 上层 检测 | ||
【主权项】：
1.一种标记单元，/n含有上基板和下基板，/n是在所述下基板上层叠了所述上基板的层叠体，其特征在于，/n对所述下基板而言，/n其上表面具有所述层叠体的上表面侧露出的下基板被检测部，其下表面具有位置确定部，/n对所述被检测部而言，/n能够从所述层叠体的上表面侧检测，/n对所述位置确定部而言，/n为相对于设置标记单元的被设置体中的设置所述标记单元的被设置部，确定位置的形状。/n
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