[发明专利]乙硅烷基胺化合物，其制备方法，以及包括其的含硅薄膜沉积组合物有效
| 申请号： | 201880025637.2 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110536893B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 金成基;张世珍;杨炳日;朴重进;李相道;朴廷主;李三东;朴建柱;李相益;金铭云 | 申请（专利权）人： | DNF有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C23C16/455;C23C16/24;C23C16/30;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/36;C23C16/40 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 金相允;梁香美 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型乙硅烷基胺化合物、其制备方法、以及包括该化合物的含硅薄膜沉积组合物，本发明的乙硅烷基胺化合物显示出优异的反应性、热稳定性和高挥发性，因此当用于含硅前体时，能够制备高质量含硅薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 化合物 制备 方法 以及 包括 薄膜 沉积 组合 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷基胺化合物，由以下化学式1表示：/n[化学式1]/n
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