[发明专利]薄膜电阻和薄膜传感器有效
| 申请号： | 201880026319.8 | 申请日： | 2018-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN110520943B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | B.米尔克;B.奥施特里克 | 申请（专利权）人： | TDK电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01C10/10 | 分类号： | H01C10/10;H01C17/06;G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姬亚东;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种薄膜电阻（2）以及一种具有薄膜电阻（2）的薄膜传感器（1）。薄膜电阻（2）具有压阻层（3），其中所述压阻层（3）具有M |
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| 搜索关键词： | 薄膜 电阻 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有压阻层（3）的薄膜电阻（2），其中所述压阻层（3）具有M1+nAXn相，其中M具有至少一种过渡金属，A具有主族元素，X具有碳和/或氮，并且其中n=1、2或3。/n
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