[发明专利]碱溶性树脂在审
申请号: | 201880026833.1 | 申请日: | 2018-04-17 |
公开(公告)号: | CN110546180A | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 六人部壮;伏木将人 | 申请(专利权)人: | 长濑化成株式会社 |
主分类号: | C08F290/14 | 分类号: | C08F290/14;C08G59/14;G02B5/20;G03F7/004;G03F7/027 |
代理公司: | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 于洁;褚瑶杨<国际申请>=PCT/JP2 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供适合用于获得高溶解性、高灵敏度、高耐热透明性、高耐溶剂性的碱溶型放射线敏感性树脂组合物的碱溶性树脂。本发明涉及由下述式(1)表示的含不饱和基团的碱溶性树脂。(式中,A相互独立地为‑CO‑、‑SO2‑、‑C(CF3)2‑、‑Si(CH3)2‑、‑CH2‑、‑C(CH3)2‑、‑O‑、4,4‑亚环己基或单键,B为具有脂环式骨架的四羧酸的残基,G为氢原子或‑CO‑X‑(COOH)x(X表示2~4元的多元羧酸的残基,x表示1~3的整数)。R1相互独立地为氢原子或甲基,R2相互独立地为碳原子数1~5的烷基或卤素基团。k为0~10,n为0~4,m为1~50的整数。)[化1] |
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搜索关键词: | 式( 1 ) 碱溶性树脂 氢原子 残基 放射线敏感性树脂组合物 烷基 不饱和基团 脂环式骨架 多元羧酸 高灵敏度 高溶解性 卤素基团 耐溶剂性 碳原子数 亚环己基 高耐热 四羧酸 单键 碱溶 式中 | ||
【主权项】:
1.一种含不饱和基团的碱溶性树脂,其由下述式(1)表示,/n[化1]/n /n式中,A相互独立地为-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、4,4-亚环己基或单键,B为具有脂环式骨架的四羧酸的残基,G为氢原子或-CO-X-(COOH)x,其中,X表示2元~4元的多元羧酸的残基,x表示1~3的整数;R1相互独立地为氢原子或甲基,R2相互独立地为碳原子数1~5的烷基或卤素基团;k为0~10,n为0~4,m为1~50的整数。/n
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