[发明专利]富铝的AlTiN基膜有效
| 申请号： | 201880026991.7 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN110573645B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 徳尼斯·库拉珀夫;西瓦·法尼·库玛·亚拉曼奇里;安德斯·奥洛夫·埃里克森 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/06;C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种涂层，其包含至少一个通过PVD工艺沉积的AlTiN基膜，其中所沉积的至少一个AlTiN基膜所包含的与钛含量相关的铝含量按原子百分比计高于75％，并且其中该AlTiN基膜只显示出结晶学立方相和内压缩应力，并且本发明涉及关于AlTiN基膜沉积的方法。 | ||
| 搜索关键词： | altin 基膜 | ||
【主权项】：
1.一种涉及通过PVD工艺沉积AlTiN基膜的方法，所述AlTiN基膜具有按照原子百分比对应于化学式(Al
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔，未经欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880026991.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
