[发明专利]具有相对于调制电极横向移位的导电平面的高频光学调制器在审
| 申请号： | 201880027322.1 | 申请日： | 2018-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN110546563A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈承坤;马克西姆·普瓦里耶;拉古拉姆·纳拉扬;米林德·戈卡莱;马塞尔·热拉尔·布德罗 | 申请（专利权）人： | 新飞通光电公司 |
| 主分类号： | G02F1/225 | 分类号： | G02F1/225;G02F1/21 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 纪雯<国际申请>=PCT/US2018/ |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种光学调制器，该光学调制器具有Mach‑Zehnder干涉仪和与Mach‑Zehnder干涉仪连接的一对RF电极，其中，Mach‑Zehnder干涉仪包括由半导体材料形成的光波导。光学调制器还包括接地平面，该接地平面与传输线电极在不同的平面中隔开，该传输线电极由与Mach‑Zehnder干涉仪连接的一对RF电极的组合形成。接地平面可以与子基座相关联，其中包括Mach‑Zehnder干涉仪和一对RF电极在内的光学芯片安装在子基座上，其中两个半导体光波导朝向子基座取向。描述了形成调制器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 光学调制器 接地平面 子基座 传输线电极 半导体材料 半导体光波导 光学芯片 调制器 光波导 隔开 取向 关联 | ||
【主权项】：
1.一种光学调制器，包括：子基座、被设计为承载RF信号的导电路径、以及光学芯片，所述光学芯片包括基板和两个半导体光波导，沿着光波导表面的至少一部分具有导电元件，其中，所述光学芯片附接到所述子基座，其中光学芯片基板背离所述子基座取向并且所述两个半导体光波导朝向所述子基座取向，其中，所述子基座包括从所述光学芯片的导电RF电极偏移的导电平面，其中，所述光学芯片还包括两个导电RF电极和附加导电元件，所述两个导电RF电极分别与对应的光波导相邻，所述附加导电元件将所述导电RF电极中的一个导电RF电极沿对应的半导体波导的表面连接到对应的导电元件，并且其中所述导电路径电连接到所述光学芯片的导电RF电极。/n
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