[发明专利]具有阀的设备及操作方法在审
| 申请号： | 201880027452.5 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN110573654A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | M·普达斯 | 申请（专利权）人： | 皮考逊公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/54 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 董典红 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | 一种设备，包括：反应室，用于容纳待处理的衬底(600)；以及脉冲阀(100、300、900、900'、900”、900*)，其流体连接至反应室(530、1430)。脉冲阀包括：反应化学物质入口(101、901、901'、901”)，用于接收反应化学物质；反应室出口(104、904、904”)，用于调节所提供的脉冲阀与反应室(530、1430)的流体连接；封闭器(111、191、991)，用于控制从脉冲阀中的反应化学物质入口(101、901、901'、901”)到反应室出口(104、904、904”)的流体流动；以及附加的流动通道入口或出口(103、303、903、903'、903”)，用于在整个衬底处理循环或序列期间通过附加的流动通道连续吹扫封闭器(111、191)。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲阀 反应化学物质 反应室 反应室出口 流体连接 封闭器 流动通道入口 衬底处理 流动通道 流体流动 衬底 吹扫 容纳 出口 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：/n反应室(530，1430)，用于容纳待处理的衬底(600)；/n脉冲阀(100，300，900，900'，900”，900*)，被流体连接到所述反应室(530，1430)，所述脉冲阀包括：/n反应化学物质入口(101，901，901'，901”)，用于接收反应化学物质；/n反应室出口(104，904，904”)，用于调整所提供的所述脉冲阀与所述反应室(530，1430)的流体连接；/n封闭器(111，191，991)，用于控制从所述脉冲阀中的反应化学物质入口(101，901，901'，901”)到所述反应室出口(104，904，904”)的流体流动；和/n附加的流动通道入口或出口(103，303，903，903'，903”)，用于在整个衬底处理循环或序列期间通过所述附加的流动通道连续吹扫所述封闭器(111，191)。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
