[发明专利]使用多个电子束的图案化衬底成像有效
| 申请号： | 201880027570.6 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110770874B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 焱·赵;孙伟强;冯涛 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/256 | 分类号： | H01J37/256 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 100176 北京市经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种使用多束成像系统对衬底表面成像的方法，包括：使用多极场装置修改电子束；使用具有多个孔的分束装置从电子束生成小束；响应于将小束的焦点投射到表面上，使用偏转器组驱动小束以扫描表面区域以基于从该区域散射的电子接收信号；以及基于所述信号确定用于检查的区域的图像。多束成像系统包括：电子源；用于束成形和束畸变校正的第一多极场装置；分束装置；投射透镜组；偏转器组；物镜组；检测器阵列；第二多极场装置；处理器；以及存储器，存储用于基于所述信号确定用于检查的区域的图像的指令。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电子束 图案 衬底 成像 | ||
【主权项】：
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