[发明专利]真空泵送系统有效
| 申请号： | 201880027966.0 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110537023B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | C.M.贝利;M.R.切尔尼亚克 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;B01D53/00;F04C25/02;F04D19/04;F04D25/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹松青;傅永霄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空泵送系统（10），其包括：多个真空泵送装置（12、14、16），其用于抽空可燃气体流并通过排气出口（78）排出气体流。壳体收容真空泵送装置并形成用于空气流（70）的空气流管道，该空气流用于在壳体中的混合区域（80）中与从排气出口输出的排气气体流混合。空气流发生器（77）产生通过空气流管道的空气流以引起空气与可燃气体流的混合达到可燃气体在空气流中的百分比低于可燃气体的可燃性下限。空气流量传感器（130）感测空气的流量以用于确定空气流量是否足以将可燃气体稀释到低于所述百分比。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵送系统，所述真空泵送系统包括：/n多个真空泵送装置，所述真空泵送装置用于抽空可燃气体流并通过一个或多个排气出口排出所述气体流；/n壳体，所述壳体用于收容所述真空泵送装置并形成用于空气流的空气流管道，该空气流用于在所述壳体中的混合区域中与所述从一个或多个排气出口输出的排气气体流混合；/n空气流发生器，所述空气流发生器用于产生通过所述空气流管道的空气流以引起空气与所述可燃气体流的混合达到所述可燃气体在所述空气流中的百分比低于所述可燃气体的可燃性下限；以及/n空气流量传感器，所述空气流量传感器用于感测空气的流量以用于确定所述空气流量是否足以将所述可燃气体稀释到低于所述百分比。/n
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