[发明专利]光测量控制程序、光测量系统及光测量方法有效
申请号: | 201880028870.6 | 申请日: | 2018-04-24 |
公开(公告)号: | CN110603430B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 笠原隆;柴山胜己;广瀬真树;川合敏光;大山泰生;藏本有未 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26;G02B26/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的光测量控制程序为在包含法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中,通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序;上述法布里‑珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部,且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化;上述光检测器检测透过法布里‑珀罗干涉滤光器的光;且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能:电压控制部,其在开始电信号的取得前,将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差;及信号取得部,其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。 | ||
搜索关键词: | 测量 控制程序 系统 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种光测量控制程序,其特征在于,/n是在包含法布里-珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中,通过取得自所述光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序,所述法布里-珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部,且所述一对镜面部间的距离对应于所述一对镜面部间产生的电位差而变化,所述光检测器检测透过所述法布里-珀罗干涉滤光器的光,/n所述光测量控制程序使所述计算机作为以下两者发挥功能:/n电压控制部,其在开始所述电信号的取得前,将所述一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与所述测量对象的光的波长对应的设定电位差;及/n信号取得部,其取得所述电压控制部在所述一对镜面部间产生所述设定电位差的状态下的所述电信号。/n
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