[发明专利]量测参数确定和量测选配方案选择有效
| 申请号： | 201880029637.X | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN110603490B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | N·贾瓦希里;M·哈伊赫曼达;O·V·兹维尔;G·R·圣圭内蒂 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种从量测目标确定图案化过程参数的方法，所述方法包括：从量测目标获得多个衍射辐射值，所述多个衍射辐射值中的每个衍射辐射值与目标的照射辐射的多个照射条件中的不同照射条件相对应；和使用值的组合确定目标的图案化过程参数的相同的值。 | ||
| 搜索关键词： | 参数 确定 选配 方案 选择 | ||
【主权项】：
1.一种从量测目标确定图案化过程参数的方法，所述方法包括：/n从所述量测目标获得多个衍射辐射值，所述多个衍射辐射值中的每个衍射辐射值与所述目标的照射辐射的多个照射条件中的不同照射条件相对应；和/n使用值的组合确定所述目标的图案化过程参数的相同的值。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880029637.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
