[发明专利]含纳米气泡的无机氧化物微粒及包含其的研磨剂有效
申请号: | 201880030025.2 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN110603307B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 小松通郎;西田広泰;中山和洋 | 申请(专利权)人: | 日挥触媒化成株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 王玉玲;李雪春 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的课题在于提供在作为研磨剂使用的工序中浓缩稳定性优异的含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液。通过一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液来解决上述课题,所述含纳米气泡的无机氧化物微粒包含:无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体为选自N |
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搜索关键词: | 纳米 气泡 无机 氧化物 微粒 包含 研磨剂 | ||
【主权项】:
1.一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液,其特征在于,包含:/n无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和/n纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体是选自N
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