[发明专利]含纳米气泡的无机氧化物微粒及包含其的研磨剂有效

专利信息
申请号: 201880030025.2 申请日: 2018-05-21
公开(公告)号: CN110603307B 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 小松通郎;西田広泰;中山和洋 申请(专利权)人: 日挥触媒化成株式会社
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 王玉玲;李雪春
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明的课题在于提供在作为研磨剂使用的工序中浓缩稳定性优异的含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液。通过一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液来解决上述课题,所述含纳米气泡的无机氧化物微粒包含:无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体为选自N2及H2中的至少一者。
搜索关键词: 纳米 气泡 无机 氧化物 微粒 包含 研磨剂
【主权项】:
1.一种含纳米气泡的无机氧化物微粒分散液,其特征在于,包含:/n无机氧化物微粒,其平均粒径为1~500nm,且包含含有Ce的微粒;和/n纳米气泡,其平均气泡直径为50~500nm,且为非氧化性气体,所述非氧化性气体是选自N
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日挥触媒化成株式会社,未经日挥触媒化成株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201880030025.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code